型号：URE-2000/35型紫外深度光刻机

    简介：光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔，以便进行杂质的定域扩散的一种加工。