型号：ＸＰ－１型台阶仪

   简介：ＸＰ－１型台阶仪仪器主要由测试台、激光反射悬臂梁和计算机分析系统组成。激光反射悬梁臂作为台阶仪的核也部件，其蓝宝石轴承与探针相连处有一镜面，工作时，二极管激光发射器会发出一束激光，激光经镜面反射到光电池上，当探针在样品表面扫描时，探针会随着样品表面的高低变化而做起伏运动。由于探针与蓝宝石轴承相连，样品表面高度变化时，使得经由镜面反射到光电池上的光斑位置发生变化。光电池将变化的光斑位畳转换为电信号，经计算机分析得到样品表面的形貌变化。主要用于进行薄膜厚度测试。