作者: 时间:2020-08-23 点击数:
型号:MNT原子层沉积设备
简介:所谓的原子层沉积技术,是指通过将气相前驱体交替脉冲通入反应室并在沉积基体表面发生气固相化学吸附反应形成薄膜的一种方法。
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