型号：TSU650型硬质涂层镀膜设备

  简介：TSU650型硬质涂层镀膜设备是大型涂层制备设备。全机采用电脑控制，自动化程度很高，机器各个位置均设有传感器，以检测机器的运行情况。本设备包括电源系统、真空系统、冷却系统、控制系统等。本电源系统包含1个圆形真空腔室，三台AE射频磁控溅射电源，一台AE直流磁控电源。一台离子源、1台偏压电源；真空系统包括两个机械泵以及一个分子泵；冷却系统包括冷水机以及制冷系统；控制系统包括电脑以及控制软件等。腔室设置极限真空可达9.0×10^-5 Pa，本设备具有极佳的稳定性，可镀制各种硬质涂层以及光学薄膜，制备出的涂层性能很高。